レーザーテック <6920> は4営業日ぶりに反発し、一時82円高(4.46%高)の1918円を付けた。7日、SiCウエハー欠陥検査/レビュー装置の「SICA88シリーズ」が昨年(15年)9月の販売開始から約1年で10台の納入が決まったと明らかにした。同シリーズはウエハーの表面検査とPL検査の機能を1台に搭載し、表面と内部にある欠陥の両方を検出できる。ローム <6963> や昭和電工 <4004> をはじめとした日本の主要なSiC関連メーカーに導入され、複数の欧米トップメーカーへも納入済みという。(イメージ写真提供:123RF)